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廈門佰氟達(dá)科技有限公司
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廈門佰氟達(dá)科技有限公司
產(chǎn)品型號ST140，ST120
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地廈門市
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更新時(shí)間：2023-12-29 15:34:39瀏覽次數(shù)：306次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 塑料機(jī)械網(wǎng)廈門佰氟達(dá)廠家生產(chǎn)供應(yīng)批發(fā)銷售半導(dǎo)體光伏設(shè)備風(fēng)囊泵。半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)囊泵(Semiconductor Equipment Bellows Pump)是一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的泵類產(chǎn)品。它是通過風(fēng)囊原理來實(shí)現(xiàn)抽取、輸送和封閉氣體的裝置。
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半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)囊泵通常由以下幾個(gè)部分組成：
1. 風(fēng)囊：風(fēng)囊是泵的核心部件，采用柔性材料制成，如橡膠、硅膠等。通過風(fēng)囊的膨脹和收縮來實(shí)現(xiàn)氣體的吸入和排出。
2. 驅(qū)動機(jī)構(gòu)：驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于控制風(fēng)囊的膨脹和收縮，常見的驅(qū)動方式有氣動、電動等。
3. 進(jìn)氣口和出氣口：進(jìn)氣口用于吸入氣體，出氣口用于排出氣體。通常與半導(dǎo)體設(shè)備的管道系統(tǒng)相連接。
半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)囊泵具有以下特點(diǎn)：
1. 無潤滑和無摩擦：由于風(fēng)囊泵采用風(fēng)囊原理，無需潤滑劑，減少了與氣體接觸的摩擦，避免了對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的污染。
2. 高度密封性：通過風(fēng)囊的膨脹和收縮，可以實(shí)現(xiàn)較高的密封性能，能夠有效地抽取和輸送氣體。
3. 耐腐蝕性：半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)囊泵通常采用耐腐蝕材料制成，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的腐蝕性介質(zhì)。
4. 精確控制：半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)囊泵能夠通過控制驅(qū)動機(jī)構(gòu)的工作方式，實(shí)現(xiàn)對膨脹和收縮過程的精確控制。
半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)囊泵在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中起到了重要的作用，主要用于氣體抽取、輸送和封閉等多個(gè)環(huán)節(jié)。它具有無摩擦、高密封性和耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中能夠提供穩(wěn)定可靠的氣體供應(yīng)。
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