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-135℃水汽捕集泵在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
JJYY-135WL-135℃水汽捕集泵的詳細資料: |
-135℃水汽捕集泵 應用原理: 在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。 深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境(真空度可提高半個數量級,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。 -135℃水汽捕集泵在實際應用當中,根據所放的位置不同可以分為兩類(見圖): 1、水汽捕集器 它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置,使盤管每次開門之前恢復到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜,影響下次抽真空。 2、低溫冷阱 放在油擴散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴散泵返油,同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態,無需除霜裝置。 根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝. 本公司研發生產的-135℃深冷水汽捕集泵,采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、進口壓縮機及制冷配件、環保混合型制冷劑生產,替代液氮,節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點,其性能指標在國內處于地位,達到甚至超過水平。 -135℃水汽捕集泵主要的性能特點 1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%; 2、降溫迅速,3分鐘內制冷到-120℃,zui低可到-150℃; 3、2分鐘熱氣除霜,迅速回溫,5分鐘可再降溫; 4、一臺設備可設計兩路負載輸出; 5、進口壓縮機,環保混合型制冷劑; 6、完善的自動化控制; 7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫 度顯示; 8、當待機溫度到達后有指示燈提示,可以開始制冷; 9、除霜溫度自由設定; 10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示; 11、缺水、水溫過高報警; 12、壓縮機排氣過高、壓力過高保護; 13、電源斷電、缺相報警; 14、可本地、遠程控制自由轉換; 15、R232計算機數據接口,計算機可讀取溫度數據及控制。 -135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
冷凝盤管的制作 根據設備的實際情況,我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。 輸入、輸出的接口 冷凝盤管從真空腔內穿過腔壁時,由于管道溫度與腔壁溫差較大,如果直接焊接,冷量將會有較大損失,腔壁結霜嚴重。這就需要一個長約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決,它可以做成活口(見圖),也可以不用密封墊,直接焊接到真空腔壁。
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