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喜開理(中國)有限公司
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本品是30mm寬的小型、輕量、高性能電空減壓閥。半導體、精密貼裝領域的先導減壓閥的控制、各種按壓控制、微速氣缸控制。行業半導體制造工序(后工序)
【小型】
30×39×57.1(寬×高×長)。
小型、輕量,有助于裝置的小型化。
【高精度】
通過電氣信號,高精度、高速響應地控制流體壓力。
重復性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
響應時間:0.1sec(無負荷)
【動作狀態采用雙色進行顯示】
采用雙色顯示動作指示器,設定壓力時,顯示為綠色,設定以外與錯誤時,顯示為紅色。
【配管、配線作業簡單】
空氣配管:采用快插接頭,電氣配線:采用M12接頭,配管、配線作業簡單。
型號 | 名稱 | 壓力控制范圍(MPa) | 配管口徑(Φ) | 備注 |
---|---|---|---|---|
EVS2-100 | PARECT 電空減壓閥 | 0.001~0.1 | 4, 6 | |
EVS2-500 | PARECT 電空減壓閥 | 0.005~0.5MPa | 4, 6 |
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