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磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時(shí)運(yùn)行時(shí)也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點(diǎn)
1. 清潔無(wú)油, 大抽速
2. 免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)
3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動(dòng)
4. 可任意角度安裝
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

P
feiffer
磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)

分子泵型號(hào)

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

啟動(dòng)壓強(qiáng)hPa

極限壓力

全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s

啟動(dòng)時(shí)間

重量

進(jìn)氣口

排氣口

氮?dú)?br /> N2

氦氣He

氫氣 H2

氮?dú)?br /> N2

氮?dú)釴2

hPa

氮?dú)釴2

min

kg

ATH 1603 M

ATH 1600 MT

250

40

1,400

970

540

> 1X108

1.7

< 6X10–9

67

6

42

ATH 2303 M

ATH 2300 MT

250

40

2,150

1,800

1,100

> 1X108

2.9

< 6X10–9

67

8

68

ATH 2800 M

ATH 2800 MT

250

40

2,200

2,400

1,550

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATH 3200 M

ATH 3200 MT

320

40

2,800

2,500

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATP 2300 M

320

40

1,950

2,050

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

37

8

60

MT 型號(hào)的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制. 其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時(shí)作用, 可以確保泵的工作溫度相對(duì)恒定 (工作溫度75°C), 同時(shí)最小化過程化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積.

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

若您需要進(jìn)一步的了解分子泵詳細(xì)信息, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐 中國(guó)臺(tái)灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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