真空機械手ARCHER 系列

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更新時間：2023-09-12 08:50:45瀏覽次數：152次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護功能及輸入信號硬件中斷功能。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

詳細介紹

機械手本體采用多電機同軸結構，動作更加靈活穩定；高重復定位精度，并具備AWC自動糾偏功能，保證傳片精度；耐真空性，可勝任高真空環境下晶圓傳片需求。直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。在此基礎上，Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式，四手指結構，雙取雙放，大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。

參數：

本體重量Body Weight	90KG
適用晶圓尺寸Wafer Size	300mm/200mm
負載Payload	1KG
電源輸入Power Supply	AC電壓:208V AC頻率：50HZ/60HZ
電源范圍電壓波動范圍	單相交流208V +10%，-15%
節拍Bear	8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料，傳輸位置不同相關)
動態偏差糾正精度(AWC)	±0.1mm
運動范圍 Range	R：994mm
	T：＞360°
	Z：135mm
重復定位精度Repeatability	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.003°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate	< 5 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure	3X10^-8Torr
適用溫度 Applicable temperature	法蘭:<90℃;本體:<50℃;手臂:<90℃
潔凈度Clean Class	ISO CLASS1
MCBF	>12.8million cycles
通信接口Communications	Ethernet/串口serial interface
IO互鎖IO interlock	支持Support