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沈陽新松機器人自動化股份有限公司


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TTS-3000 EFEM(3工位EFEM)

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-09-11 13:53:27瀏覽次數:170次

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經營模式:其他

商鋪產品:134條

所在地區:遼寧沈陽市

產品簡介

一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制。

詳細介紹

新松一直致力于提供半導體晶圓加工和其他復雜的制造環境所需的高性能、超潔凈和久經考驗的可靠性。該三工位EFEM是集成大氣機器人,預對準機以及緩存工位等部件的綜合性產品,可以給客戶提供晶圓傳送的一體化方案。產品具有很強的適應性,以滿足特定的應用需求。推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。滿足半導體制造商的期望和要求。

參數:

Input信息

Wafer規格

材質尺寸

300mm wafer

Alignment Mark

Notch

厚度

標準wafer

溫度

200

與傳送片接觸處的材質

陶瓷

片盒規格(類型、廠家、段數、段間距等)

Foup

AMHS(自動物料搬送系統)要求

OHT

搬送精度(Alignment精度)

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage數(LP數)

3

Load Lock

Stage數(LL

3

位置(XYZ

三個LL

Wafer放置精度 X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整機規格

參照尺寸說明

Foot Print

2100

750

2500

重量

1200KG

整機設計參照標準

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

軟件界面設計參考標準

SEMI E30, E84



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