Mask Stocker潔凈機器人

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更新時間：2023-09-11 13:43:56瀏覽次數：194次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：134條

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產品簡介

Mask case STK，高潔凈度，非接觸供電，SEMI軟件接口，動態糾偏和碰撞保護功能，高可靠性，設備可定制

詳細介紹

用于FPD行業Mask case自動化搬送、存儲，與曝光機對接。優化結構及氣流流場設計，可使潔凈度達到ISO Class4等級要求；帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能，有效保護Cassette、人身安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失；高剛度、高可靠性設計，保護貴重Mask；標準的SEMI軟件接口，可以方便對接面板廠MCS系統，可實時上報系統各種狀態數據，實現工廠智能管理；可以根據客戶應用的特殊要求，定制設備功能及尺寸。

參數：

設備		Stocker Crane
運動軸		行走 / 提升/ 旋轉/ 叉取
有效負載		240kg
控制		PLC
電源供應		HID (CPS)+ECO
電機		伺服電機
行走	速度	66m/min
提升	速度	40m/min
旋轉	速度	180°/6s
叉取	上/下料時間	11s
叉取卡夾精度		±2mm