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沈陽新松機器人自動化股份有限公司


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大氣機械手Blade-DD250

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-09-11 13:39:46瀏覽次數:114次

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商鋪產品:134條

所在地區:遼寧沈陽市

產品簡介

高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護, SEMI認證,提供接口及末端定制

詳細介紹

大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂優化結構加強了手臂的剛性,并有效抑制振動,輕量化設計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本,提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優選,以實現高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制,使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶圓,允許更多的片盒直線排布,更節省空間,適應性更強。是半導體行業的優勢之選。


參數:

結構形式Mechanical Structure

柱坐標型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

負載Payload

名稱name

晶圓wafer

直徑diameter

Φ200mm/Φ300mm

重量weight

0.5kg

自由度數DOF

4

回轉直徑Maximum Swing diameter

425mm

運動范圍

Moving Range

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

330mm

回轉軸 (T) Rotational(T)-Axis

330°

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

820mm

節拍

Swap time

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

1sHome to Extend 800mm

回轉軸 (T) Rotational(T)-Axis

1s/180°

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

1.2s/330mm

重復定位精度

Repeatability

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

回轉軸 (T) Rotational(T)-Axis

±0.006°(3σ)

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

±0.1 mm(3σ)

行程

820mm

潔凈度Clean Class

ISO CLASS 1

主機重量Body Weight

70 kg

電源Power Supply

208VAC(50Hz/60Hz)


關鍵詞:機械手

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