大氣機械手Blade-D156

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更新時間：2023-09-11 13:38:10瀏覽次數：100次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。

詳細介紹

耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優點。迎合個性化設計，手指及接口用戶可定制，網絡化控制系統，高效率傳片和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業的*之選擇。

參數：

結構形式Mechanical Structure		柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
	重量weight	≤0.5kg
自由度數DOF		4
手數量Number of Arm		2
回轉直徑Maximum Swing diameter		586mm
運動范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	340°
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	R660mm
節拍 Swap time	升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis	＜0.5s（Home to Fullextension）
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	0.7s/180°
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	1.2s/450mm
重復定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.006°(3σ)
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	±0.1 mm(3σ)
行程		660mm
潔凈度Clean Class		ISO CLASS 1
主機重量Body Weight		70 kg
電源Power Supply		208VAC(50Hz/60Hz)