SRBZ1440A潔凈機器人

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更新時間：2023-09-11 13:36:02瀏覽次數：133次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

經營模式：其他

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產品簡介

采用磁流體密封技術，網絡化控制系統，具有*的防碰撞保護功能及動態糾偏功能，擁有SEMI認證，MCBF大于1000萬次，同時具備超高潔凈度，耐高溫、耐腐蝕，負載能力強等特點。滿足個性化設計支持用戶定制，負載、手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。是大負載真空機械手的*之選。

詳細介紹

大負載真空機械手， LED芯片制造領域的真空機械手產品，主要用于LED芯片制造過程中，實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送，具有真空度高，負載大，傳輸效率高，耐高溫等特點，大大提高了LED芯片生產制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關鍵產品。傳統的LED芯片制造采用集成電路制造制程應用的真空機械手，其負載能力只有1kg。本產品在集成電路制造用真空機械手的基礎上，針對其大負載需求，創新了其傳輸結構和控制規律，使其能夠達到20.5kg的負載能力，同時保持很小的占用體積，保持高耐真空度及潔凈等級。

更多詳情，請單擊新松潔凈產品資料庫

結構形式Mechanical Structure		柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驅動方式Driving method		伺服電機Servo Motor
手數量Number of Arm		單臂Single Arm
負載Payload	名稱name	托盤Tray
	直徑diameter	Φ710mm
	重量weight	≤10.5kg
自由度數DOF		3
手臂長度Arm Length		355mm
手指長度（安裝中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center)		765mm
運動范圍 Moving Range	Z軸Z-axis	150mm
	R軸，機械手旋轉中心至工藝腔中心 R-axis, robot center to process chamber center	極限(Ultimate)1440mm
	θ軸θ-axis	無限回轉Infinite Rotation
全行程最小時間 Minimum running time	Z軸Z-axis	1s/35mm
	R軸R-axis	5s/伸出或縮回Extend or Retraction
	θ軸θ-axis	5s/180°
重復定位精度 Repeatability	θ軸（°）θ-Axis	±0.01（3σ）
重復定位精度 Repeatability	R軸（mm）R-Axis	±0.1（3σ）
機械手帶φ710mm負載后最小回轉直徑 Robot minimum turning diameter with Φ 710 mm load		1530mm
伸出1440mm負載直徑710mm最前端下垂量 The front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load		5.5mm
重復定位精度Repeatability		±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)		10--6Pa
重量Weight	機械手本體Main-body	100kg
重量Weight	控制器Controller	15kg
碰撞保護Collision Protect Function		盤片和機械手無損傷/工位需重新校準 Disc and robot without damage/need to recalibrate position