SRBZ820C-SMSX潔凈機器人

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更新時間：2023-09-11 13:34:39瀏覽次數：253次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐腐蝕，動態糾偏和碰撞保護功能。

詳細介紹

采用*的磁流體密封技術，具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃，提高運動節拍，提高了用戶產能。安全區保護等功能有效地提高了產品的安全等級。在半導體前道設備中廣泛應用，對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務，快速響應的售后服務，以及敦實的技術實力，是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業鏈的進步，有效的支撐了國內設備商的發展。

參數：

型號		SRBZ820C-SMSX
密封方式		磁流體密封
自由度數		2
負載	名稱	托盤
	直徑	Φ330mm
	重量	1.5kg
運動范圍	R軸（mm）	立柱中心至R軸伸展處被搬運物體中心距離820
	θ軸（°）	360
全行程最小時間	R軸（s）	2.5
	θ軸（s）	4.8
重復定位精度	θ軸（°）	±0.01（3σ）
	R軸（mm）	±0.1（3σ）
重量	機械手本體	41kg
	控制器	15kg
耐真空度(Pa)		＜5×10^-9 Torr
漏率		＜1×10^-9 std.cc/sec He
碰撞保護		盤片和機械手無損傷
行程		820mm
電源范圍電壓波動范圍		單相交流208V +10%，-15%