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七星華創(chuàng)質(zhì)量流量控制器流量計

特點(diǎn)

　　• 橡膠密封、模擬電路的MFC

　　• 管狀分流，使用壽命長D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎(chǔ)款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。

七星華創(chuàng)質(zhì)量流量控制器流量計

技術(shù)參數(shù)

編號	項目	D07-7K 型	D07-7B 型	D07-7C 型	D07-7CM 型
1	流量規(guī)格	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	準(zhǔn)確度	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	線性	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	重復(fù)精度	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	響應(yīng)時間	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	10 sec
6	氣壓降	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 mpa="">
7	工作壓差范圍	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 mpa="">
8	溫度系數(shù)	Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	最大工作壓力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	耐壓	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	工作環(huán)境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	輸入輸出信號	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
13	電源	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	外形尺寸	見圖4	見圖4	見圖4	見圖5
15	重量	1.1 kg	1.1 kg	1.1 kg	0.92 kg

D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎(chǔ)款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎(chǔ)款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。