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柔性封裝機器人
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貨物所在地: 廣東佛山市
發布時間: 2024-11-24 06:40:04
期: 2024年11月24日--2025年2月24日
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產品簡介

柔性封裝機器人柔性封裝機器人是專用的自動封裝設備,主要針對MEMS(MicroElectroMechanicalsystems的縮寫,即微電子機械系統)應用于小批量、多品種傳感器的自動封裝而研制開發,可針對各傳感器特點,通過夾具的柔性設計完成不同類型傳感器的封裝

詳細介紹

柔性封裝機器人

        柔性封裝機器人是專用的自動封裝設備,主要針對MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫,即微電子機械系統)應用于小批量、多品種傳感器的自動封裝而研制開發,可針對各傳感器特點,通過夾具的柔性設計完成不同類型傳感器的封裝。

        Flexible Encapsulation Robot is an exclusive Automatic Encapsulation Equipment. It aims at MEMS( Micro Electro Mechanical Systems) and is developed and applied to the Auto-Encapsulation of small lot and various kinds of sensors. It encapsulates various kinds of sensors with the flexible design of fixtures according the characeristic of sensors

        1、應用領域:MEMS產業發展特點是小批量、多品種,柔性封裝機器人適應多種MEMS傳感器的封裝。Application area: Small lot and various categories is the characteristic of MEMS industry. The Flexible Encapsulation Robot is adopted to kinds of MEMS sensor encapsulation.

        2、關鍵技術 Key Technology

        1)自動定位:采用自動變倍顯微鏡實現大范圍、高精度位置測量。解決了變倍自動調焦、顯微圖像分割等關鍵問題,可實現柔性封裝前的自動定位;Auto-positioning: apply the auto-zooming microscope to realize the large-scale and high accurate position measurement. Figure out the key question of zooming auto-facusing and micro image segmentation. Realize the auto-positioning before the encapsulation.

        2)定位精度高:采用精密步進電機驅動,可實現定位精度5μm;High accuracy of positioning: driven by the accurate stepper motor ; 5μm high accurate positioning.

        3)溫度控制范圍寬、控制著精度高:接合工藝爐采用基于PID調節技術的溫度控制方式,可實現0-500度范圍內的溫度調整和控制。Wide scale of temperature control and high accuracy control: the combiner applys the PID-based adjusting technology, tuning and controling the temperature within 0~500°C.

        4)人機界面友好:基于計算機控制方式,實現全部節拍的安排、動作的設置和信息的采集,提供良好的人機界面。Friendly Human-computer interface: Base on the computer control; carry out the all beats scheduling, motion setup and information collocting; provide friendly human computer interface.

        3、功能:將精密定位、顯微視覺、作業工具等關鍵技術有機結合,通過模塊化設計,可根據需求有效集成,滿足不同封裝要求。Function: combining organically the key technology of accurate positioning, mircro visual and operating tools, adopting the modular design, different encapsolation requires are satisfied according effetive intergration.

        4、實際應用 Practical Application

        (1)、已實現MEMS高溫壓力傳感器自動化組裝作業。MEMS high-temperature pressure sensor auto-encapsulation has been realized

        (2)、實現加速度計、微麥克風等傳感器的引線鍵合封裝。Accelerometer and tiny microphone sensors’ lead bonding encapsulation has been realized

        5、樣機照片 Product sample

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