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絲桿導軌滑臺有幾種叫法，線性模組、直角坐標機器人、直線滑臺等，是繼直線導軌、滾珠絲桿滑臺直線傳動機構的自動化升級單元。可以通過各個單元的組合實現負載的直線、曲線運動，
直線模組有幾種叫法，線性模組、直角坐標機器人、直線滑臺等，是繼直線導軌、滾珠絲桿滑臺直線傳動機構的自動化升級單元?？梢酝ㄟ^各個單元的組合實現負載的直線、曲線運動，是輕負載的自動化更加靈活、定位更加精準。
滾珠絲桿滑臺是在德國開發使用的，市場定位在光伏設備，上下料機械手、裁移設備、涂膠設備、貼片設備等，這種機械手能給這個行業的設備帶來便利的點有：單體運動速度快、重復定位精度高、本體質量輕、占設備空間小、壽命長等特點。
絲桿導軌滑臺ECH5M規格：
| 性 能 | 位置重復定位精度（mm） | ±0.01 | ||||
| 導程（mm） | 2 | 5 | 10 | |||
| 速度（mm/s） | 16 | 41 | 83 | |||
| 可搬重量(kg) | 水平使用（kg） | 10 | 10 | 5 | ||
| 垂直使用（kg） | 7 | 3 | 1.5 | |||
| 定格推力（N） | 986 | 330 | 165 | |||
| 標準有效行程(mm) | 100-800mm/50間隔 | |||||
| 部 品 | 靜止轉距（N.m） | 0.32 | ||||
| 滾珠螺桿外徑（mm） | C7 Ø12 | |||||
| 高剛性直線滑軌 | 24X8.5 | |||||
| 聯軸器 | 7X5 | |||||
| 原點感應器 | 外掛 | EE-SX672（NPN） | ||||
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