中圖儀器白光干涉儀測三維形貌，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量要求。

產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能。

中圖儀器白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描測量，對產(chǎn)品進行高品質(zhì)監(jiān)控時不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實時數(shù)據(jù)的同時，不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

一體化操作的測量分析軟件
1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能；
6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)。

結(jié)構(gòu)特點
1.精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
2.雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。
3.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
SuperViewW1白光干涉儀既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。