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成都萊峰科技有限公司
超長耐用 輕便簡潔 操作簡單 放心選擇氣體質量流量計/控制器特點?長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的0.2%?能夠根據命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計?流量范圍寬-從3sccm一直到3000slm?耐高壓等級-高達10MPA?可拆卸式流量傳感器?不受安裝角度影響?能和其他質量流量控制器在
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萊峰科技
不受溫度壓力的影響如何控制?
超長耐用 輕便簡潔 操作簡單 放心選擇
氣體質量流量計/控制器
特點
? 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%
? 能夠根據命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計
? 流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到3000 slm
? 耐高壓等級 - 高達 10MPA
? 可拆卸式流量傳感器
? 不受安裝角度影響
? 能和其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
? 電驅動閥超調
? 耐化學腐蝕閥門
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
耐用
耐腐
☆主體采用不銹鋼(304或316L)結構,氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。
穩定
精確計量
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。
☆配合流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
安裝便捷
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用于對氣體質量流量進行精密測量和控制,具有精度高,穩定性好,可靠性高,安裝簡單,操作方便。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
編號 | 項目 | LF420-SC | LF420-SM |
1 | 流量規格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min | |
2 | 閥門類型 | 電磁調節閥 | |
3 | 閥門狀態 | 常閉 | |
4 | 準確度 | ±1.0%F.S(≤30SLM) ±1.5%F.S(>30SLM) | |
5 | 線性 | ±0.5%F.S | |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S | |
7 | 響應時間 | ≤2秒 | |
8 | 工作壓差 | (50~500)kPa; (100~300)kPa(10~10L/min) | |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 環境溫度 | (5~45)℃,可選(-20~80)℃ | |
11 | 材料 | 不銹鋼304或316L | |
12 | 密封材料 | Viton®, EPDM, 金屬密封或其他由用戶 | |
13 | 漏率 | 1×10-7Pa.m3/s | 1×10-9Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm~Φ10mm, 1/8"…3/4"。或其他 | |
15 | 模擬信號 | (0…5)V (4…20mA) | |
16 | 數字信號 | RS232/485 Modbus-RTU協議 | |
17 | 供電電源 | +15…24VD或±15VDC |
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