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193nm激光器準分子加工系統

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更新時間：2022-10-19 09:01:16瀏覽次數：287次

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先鋒科技（香港）股份有限公司

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產品簡介

193nm激光器準分子加工系統產品特點：全部實現風冷，無需水冷；結構緊湊，脈沖頻率高，Z高重復頻率到1kHz；全新技術金屬-陶瓷腔體；光束均勻性好集成的真空泵和鹵素濾光片激光頭體積3L提供能量穩定模式，保證能量穩定輸出；

詳細介紹

193nm激光器準分子加工系統

193nm激光器準分子加工系統產品外觀圖

典型的均勻光斑形貌

微加工系統

產品特點：

全部實現風冷，無需水冷；

結構緊湊，脈沖頻率高，zui高重復頻率到1kHz；

全新技術金屬-陶瓷腔體；

光束均勻性好

集成的真空泵和鹵素濾光片

激光頭體積<3L

提供能量穩定模式，保證能量穩定輸出；

應用：

微加工

激光融蝕

醫學（眼睛手術）

光譜

計量

光纖布拉格光柵刻寫

參數

ATLEX-300-I 參數

ATLEX-300-I 參數
氣體介質	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關技術	固態開關
zui大脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.2	2.4	4.0	2.0	1.7	W
zui大重復頻率	300					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束發散角（V*H）	1*2					mrad
能量穩定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-500-I 參數

ATLEX-500-I 參數
氣體介質	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關技術	固態開關
zui大脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5	W
zui大重復頻率	500					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束發散角（V*H）	1*2					mrad
能量穩定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-1000-I 參數

ATLEX-1000-I 參數
氣體介質	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態開關
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
zui大重復頻率	1000		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-300-FBG 參數

ATLEX-300-FBG 參數
氣體介質	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態開關
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	2.4	4.0	W
空間相關性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重復頻率	300		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-500-FBG 參數

ATLEX-500-FBG 參數
氣體介質	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態開關
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
空間相關性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重復頻率	500		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-LR 參數

ATLEX-LR 參數
氣體介質	ArF	單位
波長	193	nm
zui大脈沖能量¹	12	mJ
zui大穩定輸出能量	10	mJ
脈寬²	5	Ns
光斑尺寸（V*H）	4*6	mm
光束發散角（V*H）	1*2	mrad
能量穩定性	<2	%
尺寸（LWH）	540470370	mm
重量	60	kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz