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單頻紫外激光器 IXION-193?SLM

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單頻紫外激光器 IXION-193?SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計(jì)量、高功率ArF的帶寬控制和193nm波長(zhǎng)的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長(zhǎng)以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達(dá)1pm以保證對(duì)激光器調(diào)諧的Z大控制。

詳細(xì)介紹

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計(jì)量、高功率ArF的帶寬控制和193nm波長(zhǎng)的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長(zhǎng)以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達(dá)1pm以保證對(duì)激光器調(diào)諧的zui大控制。


單頻紫外激光器 IXION-193 SLM典型參數(shù)

型 號(hào)

IXION-193 SLM

波 長(zhǎng)

193.368 nm

平均功率

>10 mW

脈 寬

< 10 ns

脈沖能量

>1.6 µJ

重復(fù)頻率

6 kHz

M2 因子

< 1.6

線 寬

<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1

調(diào)諧范圍

>80GHz; 10pm;2.6cm-1

相干長(zhǎng)度

>1 m

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM特點(diǎn)
· 工業(yè)級(jí)的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的TEM00光束形貌
· 脈沖到脈沖之間波動(dòng)小
· 免維護(hù)與熱電溫控管理
· LabVIEW驅(qū)動(dòng)
· 內(nèi)置光譜儀用于波長(zhǎng)實(shí)時(shí)控制

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM應(yīng)用
· 193 nm波長(zhǎng)計(jì)量
· 光譜儀校準(zhǔn)
· 干涉測(cè)量
· 的種子注入
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM
光譜帶寬


脈沖寬度


長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性

光束質(zhì)量



關(guān)鍵詞：光譜儀

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