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行業(yè)產(chǎn)品

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北京玉研精密儀器有限公司


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超高真空兼容系統(tǒng)微波等離子源

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2023-02-25 12:33:21瀏覽次數(shù)：313次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：趙俊峰

產(chǎn)品簡介

可選用氧氣、氮氣、氬氣等作為反應(yīng)氣體，進(jìn)行表面處理清潔、表面反應(yīng)。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域：

試樣表面碳污染處理，腔體內(nèi)壁面清潔，材料表面濺射處理。

作用機(jī)理：

(1)物理清潔：為離子轟擊，清潔強(qiáng)度取決于離子動能。所有種類的氣體均可充入，氬氣清潔作用。

(2)化學(xué)清潔：氧氣充入后產(chǎn)生電離反應(yīng)，帶有化學(xué)活性的氧離子可以對表面的污染物進(jìn)行反應(yīng)，達(dá)到清潔作用。

參數(shù)：

材質(zhì)：不銹鋼
供電電壓： AC220V
功率： 整機(jī)功率不超過150W

工作氣壓： 5~50Pa
安裝接口規(guī)格： DN35CF刀口法蘭

系統(tǒng)漏率： 5X10-11Pa*M3/S

可烘烤溫度：120°C

微波等離子源通氣實拍

氧氣：


氬氣：


氮氣：


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