電子抗蝕劑（Electron resist）是用于電子束曝光的一種抗蝕劑，屬于高分子聚合物，其性能類似于光學(xué)曝光中的光致抗蝕劑，即輻照可使其產(chǎn)生化學(xué)或物理變化而形成圖形。有正性電子抗蝕劑和負(fù)性電子抗蝕劑之分。一般，負(fù)性電子抗蝕劑的曝光靈敏度比正性電子抗蝕劑的要高得多，但正性電子抗蝕劑的分辨率要高于負(fù)性電子抗蝕劑。

三聯(lián)測控MSDR-SH型在線式自動電子抗蝕劑濃度監(jiān)測儀是采用臨界角折光原理開發(fā)的一款在線式、高精度、維護(hù)量少的濃度測量儀器。適用于管道安裝或罐體壁處的安裝，以及其它等多種安裝方式。傳感器采用用先進(jìn)的光學(xué)器件，一體式設(shè)計(jì)，光電信號直接轉(zhuǎn)換處理，具備高精度的自動溫度補(bǔ)償功能，具有操作簡單方便、維護(hù)量少、工作可靠等特點(diǎn)。檢測濃度不受壓力、流速、顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質(zhì)的影響；濃度檢測值可現(xiàn)場顯示，亦可通過4-20mA模擬信號或RS485通訊信號連接PLC與DCS，方便進(jìn)行自動化控制調(diào)節(jié)濃度，有效避免人工測量不及時(shí)導(dǎo)致濃度出現(xiàn)偏高或偏低的情況；亦可根據(jù)客戶需求定制系統(tǒng)性解決方案，通過控制單元來實(shí)現(xiàn)對執(zhí)行元器件的動作。可視化、智能化，實(shí)時(shí)的濃度監(jiān)測和控制，可顯著提高產(chǎn)品品質(zhì)，提升工作效率，提高企業(yè)管理水平和生產(chǎn)工藝控制能力。

MSDR-SH型在線式自動電子抗蝕劑濃度監(jiān)測儀主要技術(shù)參數(shù)：

1、出廠校準(zhǔn)和自動溫度補(bǔ)償，直接投入使用，無需現(xiàn)場校準(zhǔn)

2、測量范圍：0.0-51.0%；  折射率1.33300-1.46500    

3、分辨率：濃度 0.1%； 折射率0.00001nD； 溫度 0.1℃

4、測量精度：濃度±0.1%；折射率±0.00002nD；溫度±0.5℃

5、溫度補(bǔ)償：5-60℃   環(huán)境溫度：-20.0-60.0℃

6、防護(hù)等級：測量部分IP67    耐壓：≤1.0MPa

7、測量時(shí)間：默認(rèn) 5 秒測量1次（可設(shè)置）    

8、安裝方式：螺紋，法蘭盤，卡盤等。支持定制。

9、輸出： 模擬輸出：24V 4-20mA 對應(yīng)濃度 0.0-51.0%

10、數(shù)字輸出：RS485（可定制其他輸出方式）

11、輸入：DC +24V±10%    電流<100mA

12、選購件：自動清洗裝置，采用壓縮空氣或高壓水及超聲波自動清洗棱鏡表面，適用于較臟的液體，防止污垢附著，確保測量精度