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上海申弘閥門有限公司
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氣動高真空擋板閥軸封結構可分為氟橡膠密封和波紋管密封兩種,S型為帶預抽口的三通型式。氣動高真空擋板閥具有常開和常閉功能，可選配磁性開關信號控制和防爆電磁閥及氣源處理元件裝置。高真空擋板閥適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣體。
GDQ型是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執行氣缸驅動閥門作啟閉運動。GDQ-J/S型高真空氣動擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。GDQ-J/S型高真空氣動擋板閥適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。GDQ-J/S型高真空氣動擋板閥帶反饋信號裝置。
適用范圍：Applicability 105～1.3×10-4Pa（軸封為橡膠） ； 105～1.3×10-5Pa（軸封為波紋管）
閥門漏率：Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.（軸封為橡膠） ； ≤1.3×10-5Pa.L/S.（軸封為波紋管）
適用溫度：Applicable Temperature -25～+80℃（丁橡膠） ； -30～+150℃（氟橡膠）
氣源壓力：Annoy pressure 0.4～0.6MPa
真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運動而實現密封的。驅使閥桿運動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件，以螺紋結構為主，也可以采用平凸輪結構。分別為直角式、直通式真空擋板閥結構示意圖。手動兩用的傳動部件，由電動機、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開關。
高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點，形式多樣，規格齊全，公稱尺寸DN150～1200，結構合理等，因此，被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統之中，如用于真空鍍膜設備，真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環模設備等。
閥體、閥蓋、閥桿：鋁合金、碳鋼或不銹鋼 Body, bonnet and stem: aluminium alloy, carbon steel or stainless steel
密封件：丁橡膠、氟橡膠、波紋管（軸封）。Sealing element: NBR, Viton, bellows（shaft seal）
主要技術性能
Main Technical Performance
適用范圍：Applicability 105～1.3×10-4Pa(軸封為橡膠)
105～1.3×10-5Pa(軸封為波紋管)
閥門漏率：Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.(軸封為橡膠)
≤1.3×10-5Pa.L/S.(軸封為波紋管)
適用溫度：Applicable Temperature -25～+80℃(橡膠)
-30～+150℃(氟橡膠)
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