詳細介紹
打標及CCD系統:
1、結合二維運動平臺、激光打標系統、上下位置攝像系統。
2、二維運動平臺集成直線電機。
3、上位攝像頭根據晶圓特征點提供位置數據信息。下面的檢查攝像系統將測量真實的標記位置。
4、系統根據以上所述2臺相機測量數據判斷打標位置偏移是否在公差范圍內。
2、二維運動平臺集成直線電機。
3、上位攝像頭根據晶圓特征點提供位置數據信息。下面的檢查攝像系統將測量真實的標記位置。
4、系統根據以上所述2臺相機測量數據判斷打標位置偏移是否在公差范圍內。
規格:
1 | 控制系統 | 光學掃描儀+控制卡+WIN7 | |
2 | 激光 | 波長 | 355nm |
3 | 功率 | 3W | |
4 | Fθ 鏡 | Box:50*50mm (取決于達標效果) | |
5 | 冷卻方式 | 水冷 | |
6 | 2D平臺 | 行程 | 400x300mm(線性平臺) |
7 | 重復定位精度 | ±0.002mm | |
8 | 最小線高 | 0.05mm | |
9 | 加工產品尺寸 | 6英寸 8英寸 12英寸 晶元 | |
10 | 設備重復加工精度 | ±0.05mm | |
11 | 定位精度 | ||
12 | 支持的文件格式 | Dxf, plt etc | |
13 | 電力需求 | 單相 220V |