是實(shí)現(xiàn)大小公差±0.5μm的高精度機(jī)床。最小分辨率為0.01μm（選配規(guī)格）。采用線性標(biāo)尺的全閉環(huán)控制系統(tǒng)和高速高精度伺服控制相匹配的高級機(jī)種。按環(huán)境變化，為了實(shí)現(xiàn)對各發(fā)熱部的冷卻對策及機(jī)械溫度穩(wěn)定性,提高了各熱度傳達(dá)對策和冷卻劑的溫度控制。則達(dá)成了長時(shí)間加工尺寸變化在±0.5μm以內(nèi)(含有冷啟動(dòng)時(shí)候的尺寸變化)。