用途：Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD特點：IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能，適用于嚴苛制程。它優良的性能源自于轉子排氣路徑和的轉子型線設計。漢鐘型線設計，上海，中