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動(dòng)態(tài)TOF-SIMS系統(tǒng),它使用直流主束的飛行時(shí)間分析儀,創(chuàng)建了成像質(zhì)譜的新范式。直流一次離子束的使用允許快速成像和連續(xù)數(shù)據(jù)采集(即沒(méi)有單獨(dú)的蝕刻周期),同時(shí)提供高空間和質(zhì)量分辨率。特點(diǎn):離子束帶來(lái)高分子量分析和高空間分辨率四種離子束可選擇用氣體團(tuán)簇離子束SIMS,可以分析高達(dá)3000Da的分子量無(wú)“僅蝕刻”循環(huán)的深度剖面。快速、連續(xù)采集冷樣品處理氣敏和冷凍樣品
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