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動態(tài)TOF-SIMS系統(tǒng),它使用直流主束的飛行時間分析儀,創(chuàng)建了成像質(zhì)譜的新范式。直流一次離子束的使用允許快速成像和連續(xù)數(shù)據(jù)采集(即沒有單獨(dú)的蝕刻周期),同時提供高空間和質(zhì)量分辨率。特點(diǎn):離子束帶來高分子量分析和高空間分辨率四種離子束可選擇用氣體團(tuán)簇離子束SIMS,可以分析高達(dá)3000Da的分子量無“僅蝕刻”循環(huán)的深度剖面。快速、連續(xù)采集冷樣品處理氣敏和冷凍樣品
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