該ALD擁有達(dá)到或超過市場上其他品牌的功能，同時(shí)易于使用和維護(hù)-成本低于當(dāng)今市場上的價(jià)格腔室溫度：室溫到325°C±1°C;前軀體溫度從室溫到150°C±2°C（帶加熱夾套）市場上Z小的占地面積（2.5平方英尺），臺(tái)式安裝和潔凈室兼容簡單的系統(tǒng)維護(hù)和實(shí)用程序和市場上的前體使用流線型腔室設(shè)計(jì)和小腔室體積快速循環(huán)能力全硬件和軟硬件聯(lián)鎖，即使操作安全在多用戶環(huán)境中