ATEX防爆化學隔膜泵具有無油化學隔膜泵的所有優點。主要應用于有潛在爆炸氣氛的旋轉蒸發儀或真空干燥箱等。ATEX防護包括泵腔內（與所抽氣體接觸）及泵的外界環境。泵的所有沾濕部件都具有非常好的耐化學腐蝕性，并主要由抗靜電材料制成。發貨時配備一個單獨的氣鎮接口，用于連接惰性氣體源。