三級化學隔膜泵是針對腐蝕性氣體和蒸汽的一種持續的、無油抽氣的優秀解決方案，可以滿足許多高真空要求。三級泵的結構同時具有大抽氣速度和超高極限真空的優點，而且泵的尺寸非常小。所有與被抽介質接觸的部件都是由抗化學腐蝕的氟材料構成。經廣泛驗證的PTFE“三明治”夾層結構的膜片穩定性更高，延長了操作壽命。將MD1C配合氣鎮使用，非常適合用于易冷凝性蒸汽（高沸點溶劑）。