RTEC化學(xué)機械拋光機：CMP測試儀CP-6允許以*的方式研究和表征CMP工藝。除了拋光晶圓和基板外，測試儀還配有在線表面輪廓儀。這種組合提供了有關(guān)表面，摩擦，磨損等變化的原因和方式的信息。測試儀還可以測量幾個內(nèi)聯(lián)參數(shù)，如摩擦力，表面粗糙度，磨損量等，以便詳細(xì)了解過程。