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簡(jiǎn)介高性能MFC,為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)優(yōu)良流量傳感器,結(jié)合精細(xì)拋光氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實(shí)現(xiàn)高精度、低零漂、高重復(fù)性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場(chǎng)顯示屏和地址編碼開(kāi)關(guān),多種通訊方式可選、可定制全金屬密封,適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏及其它各類(lèi)應(yīng)用環(huán)境。
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