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青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)優(yōu)良流量傳感器芯片,具有*的氣體流道設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學(xué)信號(hào)方面,提供多種數(shù)字和模擬控制方式,并配備工業(yè)級(jí)顯示屏,方便客戶現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試和配置。
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