緊湊型流量控制器（MassFlowController）是基于業(yè)內(nèi)優(yōu)良的流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開(kāi)發(fā)的一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。