輝光等離子表面處理設備，大氣等離子清洗機，低溫等離子清洗機又叫等離子表面處理儀（器），是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。在工業生產過程中對電子元件、光學部件、機械零件、高分子材料等表面的超純度清洗，以消除極微小污垢顆粒，常常是一道非常關鍵的工藝。