簡(jiǎn)要描述：sprint全自動(dòng)晶元檢測(cè)系統(tǒng)是專門為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的bump檢測(cè)而設(shè)計(jì)。Z大能夠自動(dòng)檢測(cè)八寸晶元。bump的高度、直徑、體積、形狀以及平面度都能得到納米級(jí)精度的量測(cè)。