LFIX系列氣流控制系統(tǒng)由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節(jié)閥和壓力檢測組件等組成，它利用流動的流體不同的流量效應而制成，其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量，并分別控制各自氣體的流量，進入混合器進行精密混合，將混合后的氣體按需輸出給用氣點，同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測，保證混合的精確性。