殘余氣體分析儀是一種可用于在線監(jiān)測(cè)的真空設(shè)備，主要用來檢測(cè)真空腔中的氣體成分和氣體濃度。可以達(dá)到百萬量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，510-4Torr的探測(cè)限，帶有分析軟件和RS232接口。