適用于大多數樣品，包括薄片、粉末、碎片、透明與非透明樣品，無需對樣品進行噴碳或噴金處理可通過不同大小的光孔對礦物或試樣進行微區分析（小至50~100μm）可通過對束斑大小的調節，得到礦物未知成分的平均值電子束激發X射線熒光強度高，強度要大于X射線激發源的激發強度約4-5個數量級，測試時間短電子束入射樣品深度很淺（僅僅為1-2μm左右），實現表面分析