該裝置主體結(jié)構(gòu)包括制冷機系統(tǒng)、真空腔、防輻射屏及樣品臺等，搭配柔性波紋管和減震墊可實現(xiàn)樣品處微米級低振動，該恒溫器可配合精密位移平臺進行整體結(jié)構(gòu)三維空間上高精度、大量程的移動，實現(xiàn)樣品不同位置測量的需