超高真空薄膜X射線譜學系統，可以在超高真空條件下開展薄膜相關的掠入射X射線譜學實驗。該系統配備有樣品中轉存放臺，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進樣腔室傳遞到樣品中轉存放臺上。在測試室對薄膜樣品進行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號的測量。該系統配置一個高精度6自由度并聯位移平臺，可帶動整個腔體相對X射線光束線的精密位置調整。