利用的高能高臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，UV+O2→O-利用的高能高臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物，