熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理,采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確的儀表。該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻(鉑RTD)組成。一個是質量速度傳感器T1，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差，另一個傳感器T2用于感應被測氣體溫度。隨著氣體質量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒