單晶硅爐負壓吸塵系統(tǒng)HV高負壓真空吸塵我司結合單晶硅生產過程中產生的粉塵特點研發(fā)的脈沖反吹型真空吸塵系統(tǒng)，具有風量大、脈沖反吹、穩(wěn)定可靠、整體體積小等特點。可有效解決單晶硅生產過程中硅爐內壁殘留的粉塵。