隨著我國工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，其中半導(dǎo)體行業(yè)需求也加大，但隨之而來也帶有VOC廢氣對大氣污染。半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)車間清潔度要求高，因此廢氣排放風(fēng)量較大、排放濃度小的。主要來源于芯片或者是線路板出產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中以及對電路板進(jìn)行清洗。主要成分有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類