Thermochuck熱控卡盤(pán)晶圓臺(tái)，是一種用于微電子器件測(cè)試的重要設(shè)備，也被稱(chēng)為探針臺(tái)載物臺(tái)。它可以在高低溫環(huán)境下進(jìn)行微電子器件的測(cè)試，因此具有高可靠性和高精度。