德國(guó)布魯克DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）可以提供更高的重復(fù)性和分辨率，測(cè)量重復(fù)性可以達(dá)到5Å。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過(guò)去四十年Dektak技術(shù)，更加鞏固了其行業(yè)地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測(cè)量，