水汽捕集泵的工作原理：將一個能到-130℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60%—90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8Torr、10-5Pa）。