在線監測有機廢氣VOC系統VOCs監測子系統主要由采樣探頭、伴熱管線、預處理單元、電控單元、VOCs分析儀及輔助系統組成，測量時煙氣由機柜內的外置高溫泵抽取，經由采樣探頭、伴熱管線、除塵過濾器后通入VOCs分析儀進行測量，儀表的輔助系統包括零氣發生單元、氫氣發生器及標氣等。