薄膜表面電阻率測定儀采用了美國In公司的大規模集成電路,使儀器體積小、重量輕、準確度高。以雙3.1/2位數字直接顯示電阻的高阻計和電流。量限從1×104Ω～1×1018Ω，是目前國內測量范圍Z寬，準確度Z高的數字超高阻測量儀。電流測量范圍為2×10-4～1×10-16Ａ。機內測試電壓為100/250/500/1000V任意可調。