人們對準分子激光切割機中激光刻蝕聚合物材料的研究，一般在刻蝕閾值附近積累了大量的實驗數據并建立了大量的物理化學模型。研究刻蝕閾值之前和附近的刻蝕行為，這對研究材料的刻蝕特點、建立理化模型是非常有益的。但是從準分子激光微細加工的角度，只有入射激光能量遠大于刻蝕閾值時